MEMS 传感器是采用微电子和微机械技术工艺制造出的微型传感器。与传统传感器需要多种机械配件相比，MEMS 技术可以把配件全部集成在一块很小的 MEMS 芯片上，具有轻重量、功耗低和批量生产的特点，满足了小体积、高性能的要求。
作为专业的传感器解决方案提供商，炜盛科技在MEMS传感器方面硕果累累，有基于MEMS工艺的气体传感器、温湿度传感器、热式流量传感器、塑封压力传感器、热电堆传感器等多品类MEMS产品及解决方案，并以优秀的品质赢得了市场的广泛赞誉。
GM系列气体传感器
MEMS气体传感器由基于MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时，传感器的电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
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MEMS气体传感器具有结构坚固，抗震性好、尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长等特点。可检测包含燃气、烟雾、氢气、一氧化碳、氨气、硫化氢、酒精、口气、VOC等多种气体。
热电堆温度传感器
● 热电堆温度传感器，是基于MEMS工艺将上百对热电偶串联而成。利用塞贝克原理，当目标与环境之间存在温度差时，传感器输出对应的电压，从而检测出目标存在或目标的温度。
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热电堆温度传感器具有高红外响应率、高重复性、高可靠性和稳定性的特点。在额温/耳温等非接触体温测量、家用电器（空调、护发吹风机、油烟机等）温度测量与控制以及空气调节系统、电力管理系统等领域应用广泛。
气体流量传感器
气体流量传感器采用新一代MEMS传感器芯片技术，利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有很好的精度与重复性。可精确测量极小流量，精度高，响应速度快，重复性好，经过完全校准和温度补偿，同时具有线性模拟电压输出，方便使用。
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流量传感器在医疗仪器（呼吸机、氧气机等）、便携式仪器、工业过程控制及空气和环境保护等领域有着广泛应用。
塑封压力传感器
塑封压力传感器是采用高精度MEMS压力敏感芯片和成熟的生产工艺封装而成的传感器。具有尺寸小、精度高、宽工作温度范围、常温高精度等特点。
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MEMS塑封压力传感器常被应用于手持压力计、电子血压计、空压表、汽车胎压检测、过程控制系统、压力校准仪器、高度计、大气压力测量等领域。
温湿度传感器
MEMS温湿度传感器配有一个ASIC芯片、一个MEMS电容式湿度传感元件和一个温度传感元件。产品的精度、响应时间、测量范围都有巨大优势。
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MEMS温湿度传感器可广泛应用于家电领域（如暖通空调、智能恒温器、房间监视器等）、工业领域（如汽车、测试及检测设备、自动控制）及数据记录器、气象站、医疗及其他温湿度检测控制相关领域。
MEMS是传感器乃至整个半导体产业重要的技术分支，这一技术使各行各业的制造商能够在微观尺度上制造出精确、极其敏感的元件，目前正处于第三次产业浪潮的爆发期。
未来，随着物联网、人工智能、自动驾驶等新兴技术的发展成熟，MEMS新产品、新功能、新应用也将不断涌现，带动MEMS行业规模持续增长！
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