随着物联网的发展,传感器的应用也越来越广泛,微机电系统-MEMS传感器在也慢慢成为主流传感器之一。MEMS传感器有三项MEMS技术产品:红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中,大约需要采用25至40只MEMS传感器,那么都有哪些MEMS传感器和技术能用于汽车中呢?
(1)MEMS传感器的大批量高精度生产和高可靠性及单价廉价,特别适宜在汽车电控系统中应用。
(2)安全气囊中的汽车安全气囊感应器。
(3)MEMS汽车微加速度计正替代以往的机电式加速度传感器。
(4)MEMS陀螺仪在高端汽车中的应用包括:悬架控制、翻滚。
(5)汽车MEMS压力传感器和轮胎气压自动监测系统,MEMS压力传感器适合于任何类型的轮胎,在轮胎胎壁埋设一小块感压力敏芯片,自动测量轮胎气压、温度、转速和其它一些数据,并用特定的代码发送出来。
(6)发动机管理系统中的MEMS应用。
(7)微机械陀螺是一种振动式角速率传感器,在汽车领域的应用开发倍受关注,主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统。
(8)汽车电控燃油喷射系统EFI要使用多重压力MAP传感器,监测发动机进气歧绝对压力,提高其动力性能,降低油耗,减少废气排放。
(9)微型硅压阻式MEMS压力传感器可用于发动机废气循环系统,替代陶瓷电容式压力传感器。
(10)汽车空调压缩机中的压力测量也是MEMS的一个很大市场。
(11)气缸内气压测量,爆缸控制。
(12)燃油喷射系统,柴油共轨系统。
(13)传动油压,变速自动控制。
(14)制动油道油压,制动系统。
(15)悬挂液压,悬挂系统。
如今,随着MEMS传感器越来越小,功能越来越多样化,价格越来越低,设计和应用空间也在不断扩大。借助新型材料,如SiC、纳米管、纳米线、光导、超导和智能材料等开发出的各种新型MEMS传感器,进一步提高了MEMS传感器的精度和可靠性。
除了应用在汽车电子中,MEMS传感器在消费类电子产品应用市场的普及率也在不断提高。